2022-04-28
光譜共焦傳感器，白光干涉儀，激光位移傳感器，膜厚儀是目前3D領域中，精度最高的測量儀器之一，前面立儀科技小編已經為大家介紹了光譜共焦位移傳感器，激光位移傳感器，接下來本文就帶大家一起來了解了解白光干涉儀
白光干涉儀工作原理：
白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發的超精細表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
白光干涉儀的應用領域：
一、超精細粗糙度測量
玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測量
二、臺階高度
掩模版臺階高度測量
三、形貌觀察&測量
膜形貌測量
四、不同條件下實驗形貌比對&測量
化工材料不同濃度液滴后形貌分析
聽完立儀科技小編的介紹，相信大家對白光干涉儀的原理以及應用領域有了個大概的了解，立儀科技一家專業生產光譜共焦位移傳感器，激光位移傳感器，膜厚儀，白光干涉儀的公司，從2014年成立至今，勵志成為國產高精度測量的技術引領者。
