2021-08-27
隨著共焦光譜技術(shù)的發(fā)展，我們可以看到測(cè)量幾乎所有類型的材料，平面度、弧面度、高度差、凹槽等，應(yīng)用于2.5D/3D曲面玻璃等手機(jī)3C行業(yè)。
光譜共焦測(cè)量方法恰恰利用這種物理現(xiàn)象的特點(diǎn)。光譜共焦測(cè)量技術(shù)通過(guò)分析不同波長(zhǎng)的光在特定表面的聚焦位置以進(jìn)行高精度的尺寸測(cè)量和微觀形貌分析。根據(jù)這一測(cè)量原理，特定波長(zhǎng)的光可能聚焦在樣品正面，而對(duì)于透明材質(zhì)樣品，兩條不同波長(zhǎng)的光在樣品的正反面聚焦。這正是光譜共焦提供的兩種測(cè)量模式，前者為位移測(cè)量模式，后者為厚度測(cè)量模式。今天我們與立儀科技公司一起來(lái)看看光譜共焦測(cè)量的方法：
一、位移測(cè)量模式
位移測(cè)量模式輸出Z方向的高度值，導(dǎo)入XY的位移量后可直接輸出點(diǎn)云坐標(biāo)。該模式與三坐標(biāo)、結(jié)構(gòu)光和激光三角等測(cè)量方法一致，不同之處在于光譜共焦支持反光表面的測(cè)量，且擁有亞微米級(jí)別的測(cè)量精度。
位移測(cè)量模式適用于大多數(shù)精密尺寸測(cè)量場(chǎng)景，提供點(diǎn)、線、面多種測(cè)量采樣選擇。點(diǎn)測(cè)量適用于測(cè)量物體振動(dòng)和液體高度，輸出不同時(shí)序的Z方向值來(lái)輔助分析。線測(cè)量可連續(xù)記錄運(yùn)動(dòng)樣品表面的Z方向值，供斷差檢測(cè)和2D尺寸分析用途。面測(cè)量提供樣品表面完整的三維形貌數(shù)據(jù)，可進(jìn)行綜合性的包括粗糙度等項(xiàng)目在內(nèi)的分析。
二、厚度測(cè)量模式
在測(cè)量玻璃、鏡片等透明樣品時(shí)，不同波長(zhǎng)的兩束光在樣片正反表面聚焦，在導(dǎo)入樣品折射系數(shù)參數(shù)之后，可計(jì)算出該樣品的厚度值。相比于游標(biāo)卡尺等傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量工具，光譜共焦測(cè)量擁有所有非接觸式光學(xué)測(cè)量的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)還具有單側(cè)測(cè)量即可獲取樣品厚度值的特性。
折射系數(shù)直接影響厚度測(cè)量的數(shù)據(jù)精度，因此在測(cè)量開(kāi)始時(shí)應(yīng)先確認(rèn)樣品的折射率。折射率可參考同類材料的數(shù)值，但如需獲得更高精度的厚度測(cè)量結(jié)果，需借助折光儀測(cè)得樣品的折射率。
模式切換
光譜共焦的兩種測(cè)量模式可在軟件界面中自由切換，無(wú)需重新啟動(dòng)設(shè)備或系統(tǒng)。因此，無(wú)論是樣品表面尺寸測(cè)量，還是透明材質(zhì)厚度測(cè)量，亦或是同時(shí)獲取透明樣品的外觀尺寸和厚度信息，光譜共焦測(cè)量技術(shù)都能從容應(yīng)對(duì)。
