2021-06-15
? 白光共焦技術(shù)用于精密測(cè)量和3D測(cè)量領(lǐng)域
對(duì)于光學(xué)透鏡表面輪廓的測(cè)量，常用的測(cè)量方法有探針?lè)ê桶坠飧缮娣ā２噬す馕灰仆S測(cè)量?jī)x，采用白光作為測(cè)量介質(zhì)，白光在特殊的透鏡組中會(huì)形成色散效應(yīng)。被測(cè)物體的不同深度會(huì)反射不同顏色的光，從而測(cè)量探頭到被測(cè)物體表面的距離和位移。
它特別適用于測(cè)量全反射面如鏡面，因?yàn)樗煌诩す馊欠瓷鋫鞲衅鳎庠创怪庇诒粶y(cè)物體，反射也垂直于探頭，鏡面能最大限度地反射光斑。三角形反射傳感器更適合于散射表面的測(cè)量。
利用光譜共焦傳感器測(cè)量，可以獲得超高分辨率。納米尺度的分辨率是通過(guò)上述特殊處理獲得的延長(zhǎng)光譜范圍得到的。由于探測(cè)焦點(diǎn)的顏色是用來(lái)獲取距離信息的，因此光譜共聚焦傳感器可以使用非常小的測(cè)量點(diǎn)，從而允許測(cè)量非常小的物體。這也意味著即使是被測(cè)量表面上最輕微的劃痕也無(wú)法逃脫光譜共焦傳感器的眼睛。
白光干涉法是一種非接觸式光學(xué)測(cè)量方法，它避免了接觸式測(cè)量方法存在的問(wèn)題，同時(shí)具有較高的測(cè)量精度。但是白光共焦法需要圖像拼接來(lái)獲得完整的輪廓，圖像拼接會(huì)產(chǎn)生誤差，因此不適合大體積或陣列分布的透鏡輪廓的測(cè)量。
光譜共焦傳感器具有上述兩種測(cè)量方法的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)還具有超高的角度特性，測(cè)量頻率可達(dá)2000Hz，具有高精度的測(cè)量平臺(tái)，保證了輪廓數(shù)據(jù)的水平分辨率，實(shí)現(xiàn)了精密測(cè)量和三維測(cè)量的要求。
