2021-04-14
激光位移傳感器可以測量位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等精密幾何測量。激光位移傳感器具有良好的直線度,激光位移傳感器的精度高于我們所知道的超聲波傳感器。然而,激光發(fā)生器相對復(fù)雜,體積大,因此對激光位移傳感器的應(yīng)用范圍提出了更高的要求。
激光位移傳感器原理
一般激光位移傳感器的基本原理是光學(xué)三角法。
根據(jù)測量原理,將激光位移傳感器分為激光三角測量法和激光回波分析法。激光三角測量法一般適用于高精度和短距離測量,而激光回波分析法則用于長距離測量,分別介紹了激光三角測量原理和激光回波分析原理。
1、激光位移傳感器原理的激光三角測量方法。
激光發(fā)射器通過透鏡將可見的紅色激光發(fā)射到被測物體的表面,由物體反射的激光通過接收鏡頭接收到內(nèi)部的CCD線相機(jī)。根據(jù)不同的距離,CCD線性相機(jī)可以"看到"不同角度的光斑。基于這個(gè)角度和已知的激光與攝像機(jī)之間的距離,數(shù)字信號處理器可以計(jì)算傳感器與被測物體之間的距離。
同時(shí),用模擬電路和數(shù)字電路處理波束在接收元件中的位置,通過微處理器分析計(jì)算出相應(yīng)的輸出值,在用戶設(shè)置的模擬窗口中按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號。如果使用開關(guān)輸出,則在設(shè)定窗口內(nèi)打開,并在窗口外結(jié)束。此外,模擬輸出和開關(guān)輸出可以獨(dú)立設(shè)置檢測窗口。
用三角法測得的激光位移傳感器的最大線性度可達(dá)1μm,分辨率可達(dá)0.1um,如ZLDS 100型傳感器,可獲得0.01%的高分辨率,0.1%的高線性度,9.4KHz的高響應(yīng),適應(yīng)惡劣環(huán)境。
2、基于激光位移傳感器原理的激光回波分析原理。
激光位移傳感器采用回波分析原理測量距離,以達(dá)到一定的精度。該傳感器由處理器單元、回波處理單元、激光發(fā)射機(jī)、激光接收機(jī)等組成。激光位移傳感器每秒向探測器發(fā)射一百萬次激光脈沖,并返回接收器。處理器計(jì)算激光脈沖遇到探測器并返回接收器計(jì)算距離值所需的時(shí)間,距離值是數(shù)千次測量的平均輸出。也就是所謂的脈沖時(shí)間法。激光回波分析適用于長距離探測,但測量精度低于激光三角測量法,最大探測距離可達(dá)250m。