2021-05-17
玻璃基板的厚度可用光譜共焦測(cè)量
玻璃基板是液晶顯示器件的基本部件，這是一種極平的表面浮法來(lái)生產(chǎn)薄玻璃片。市場(chǎng)上可用的玻璃基板的主要厚度為0.7mm和0.5mm，甚至更薄(如0.4mm)的工藝正在進(jìn)行中。基本上，一個(gè)TFT-LCD面板需要使用兩個(gè)玻璃基板，分別用作底部玻璃基板和COLOR FILTER基板。
可以提供大尺寸液晶屏只有美國(guó)康寧、旭硝子等四家，雖然玻璃基板只占TFT-LCD產(chǎn)品成本的6% - 7%，但技術(shù)的寡頭壟斷使得玻璃基板產(chǎn)品成為T(mén)FT-LCD上游材料的主導(dǎo)零部件產(chǎn)品。國(guó)內(nèi)虹彩、東旭等自主TFT-LCD玻璃項(xiàng)目應(yīng)得到特別支持和鼓勵(lì)。
由于玻璃基板的厚度很薄，而且對(duì)厚度尺寸的控制非常嚴(yán)格，一般在0.01mm的公差以內(nèi)，主要準(zhǔn)確地測(cè)量玻璃厚度、翹曲和平行度。采用光譜共焦傳感器可以很好的解決這一問(wèn)題。由于共焦原理，高度值和厚度值可以一次采集。此外，多個(gè)傳感器同時(shí)使用不僅提高了效率，還避免了接觸測(cè)量造成的二次損傷。
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